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地址：遼寧省沈陽(yáng)市大東區
北海街242號
電話(huà)：024-88722463（濾光片）
024-88710226（反光鏡）
024-88710538（國際）
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IC光刻設備、FPD曝光設備
- 分類(lèi)：IC裝備及紅外光學(xué)
- 發(fā)布時(shí)間：2020-05-25 00:00:00
- 訪(fǎng)問(wèn)量：0
概要:匯博光學(xué)制造的精密紫外光學(xué)薄膜器件均采用高能離子輔助沉積工藝，可以耐受400℃以上的高溫且性能穩定。
詳情
IC半導體光刻設備及FPD平面顯示器曝光設備中使用的精密光學(xué)薄膜器件對光學(xué)鏡面精度和光譜反射效率、耐用性有極苛刻的使用要求。光源長(cháng)時(shí)間不間斷工作，紫外線(xiàn)的輻射損傷對反射鏡的膜層壽命要求高。匯博光學(xué)制造的精密紫外光學(xué)薄膜器件均采用高能離子輔助沉積工藝，可以耐受400℃以上的高溫且性能穩定。
產(chǎn)品類(lèi)型：大尺寸橢球反射鏡、45°平面反射鏡、介質(zhì)膜反射鏡、鋁增強反射鏡、365nm通帶濾光片、截止濾光片、分色鏡、光配向反射鏡。
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